ông cảm ứng vi mô
Một tế bào tải vi mô là thiết bị đo lực tinh vi, có khả năng chuyển đổi lực cơ học thành tín hiệu điện với độ chính xác đặc biệt ở quy mô nhỏ gọn. Những cảm biến nhỏ gọn này sử dụng công nghệ đo biến dạng để phát hiện và đo các loại lực khác nhau, bao gồm lực kéo, nén và trọng lượng. Thường có kích thước từ vài milimét đến centimét, tế bào tải vi mô được chế tạo bằng vật liệu cao cấp như hợp kim nhôm hoặc thép không gỉ nhằm đảm bảo độ bền và độ chính xác. Nguyên lý hoạt động của chúng dựa trên việc đo độ biến dạng của bộ phận đàn hồi trong cảm biến thông qua các điện trở đo biến dạng, những điện trở này thay đổi giá trị điện trở theo tỷ lệ thuận với lực tác động. Các tế bào tải vi mô hiện đại được trang bị tính năng bù nhiệt tiên tiến, bảo vệ quá tải tích hợp và đặc tính lặp lại cao. Chúng được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị y tế, robot, ứng dụng hàng không vũ trụ và thiết bị sản xuất chính xác. Khả năng cung cấp kết quả đo chính xác trong không gian hạn chế khiến chúng trở nên vô giá tại những nơi mà tế bào tải truyền thống không thể áp dụng hiệu quả. Thông thường, các thiết bị này có dải đo từ vài gram đến vài kilogram, một số mẫu chuyên dụng thậm chí có thể phát hiện lực nhỏ tới micronewton.