ตัวแปลงสัญญาณความดันขนาดเล็ก
เซนเซอร์วัดความดันขนาดจุลภาคเป็นอุปกรณ์ตรวจจับขั้นสูงที่แปลงการเปลี่ยนแปลงของความดันเป็นสัญญาณไฟฟ้าด้วยความแม่นยำอย่างยอดเยี่ยมในระดับจุลภาค อุปกรณ์ที่ซับซ้อนนี้รวมเทคโนโลยีการย่อส่วนล้ำหน้าเข้ากับความสามารถในการตรวจจับประสิทธิภาพสูง โดยปกติจะมีขนาดไม่เกินระดับมิลลิเมตรหรือเล็กลงไป เซนเซอร์ทำงานผ่านแผ่นเยื่อที่ไวต่อแรงดันซึ่งจะเกิดการบิดเบือนเมื่อถูกกด และการบิดเบือนทางกลศาสตร์นี้จะถูกแปลงเป็นสัญญาณไฟฟ้าผ่านหลักการต่าง ๆ เช่น แบบพีโซรีซิสทีฟ (piezoresistive), แบบความจุ (capacitive) หรือแบบแสง (optical) เซนเซอร์เหล่านี้ได้รับการออกแบบให้สามารถวัดค่าได้อย่างแม่นยำในช่วงความดันที่กว้าง ตั้งแต่สภาพสุญญากาศจนถึงสภาพความดันสูง ในขณะที่ยังคงเสถียรในอุณหภูมิและเงื่อนไขการทำงานที่แตกต่างกัน เทคโนโลยีนี้ใช้วัสดุขั้นสูงเช่น ซิลิกอน เซรามิก หรือโลหะเฉพาะ เพื่อให้มั่นใจในความทนทานและความน่าเชื่อถือระยะยาว เซนเซอร์วัดความดันขนาดจุลภาคสมัยใหม่มักจะมีระบบชดเชยอุณหภูมิและกระบวนการประมวลผลสัญญาณดิจิทัลในตัว ทำให้สามารถให้ค่าอ่านที่แม่นยำสูงในเวลาจริง การใช้งานครอบคลุมหลายอุตสาหกรรม เช่น อุปกรณ์ทางการแพทย์ ระบบรถยนต์ อุปกรณ์การบิน และการควบคุมกระบวนการในอุตสาหกรรม ซึ่งการตรวจสอบความดันอย่างแม่นยำเป็นสิ่งสำคัญสำหรับประสิทธิภาพและการปลอดภัยที่เหมาะสม